每经记者｜刘明涛 每经编辑｜肖芮冬
今日上午，科技类ETF整体交投活跃，两只互联网主题ETF半日成交金额均超过30亿元；科创芯片ETF（588220）和半导体ETF（512480）半日成交总量也在千万手以上。
ETF涨幅榜上，美联储如期降息，科技股全线大涨，以光刻机为主的半导体设备概念持续大涨，带动半导体材料设备相关ETF集体大涨，半导体材料ETF（562590）等5只ETF半日涨幅均超过6%。
投资逻辑来看，国内半导体设备各细分环节正不断研发突破，快速积累自主IP，并逐步具备出海可能性。此外，随着国内供应链在零部件、材料领域的加强，机台稳定性、一致性正快速提升，头部晶圆厂采购设备国产化有望提速。
展开剩余44%点评：半导体设备ETF基金（159327）今日上午涨幅为6.53%，该ETF规模为1.01亿份，追踪的是中证半导体材料设备主题指数，追踪该指数的ETF还包括半导体设备ETF（159516）、半导体设备ETF易方达（159558）等。其中，半导体设备ETF（159516）半日涨幅为6.35%，份额为24.68亿份，半日成交金额为4.85亿元。
中证半导体材料设备主题指数从沪深A股中，选取40只业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为样本，以反映两市半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。
中证半导体材料设备主题指数主要权重股
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